氦液化器的主要设备包括：①氦压缩机 ②冷箱 ③液氦杜瓦 ④油分离器 ⑤控制柜 ⑥同轴输液管 ⑦污氦干燥器 ⑧回收压缩机 ⑨ 液氮储罐 ⑩ 氦气储罐 ⑪氦气瓶组 ⑫回收气囊。
上图是带内纯化及回收系统的氦气压缩氦液化装置系统组成图，主要分为两部分：
第一部分主要部件包括：氦气螺杆压缩机、除油系统、气体压力控制系统、冷箱、控制系统、液氦杜瓦、低温传输管线、在线干燥器等。主要功能是将高纯氦气直接液化。氦液化系统冷箱内部配置了内纯化系统，能在线纯化浓度范围在 90%-99.9%的污氦气，获得高纯氦气，然后再液化为液氦。
另一部分是污氦回收系统部分，核心部件由高压氦气压缩机、氦气回收气囊和在线干燥器等构成，功能是将用户使用蒸发的氦气回收到氦气回收气囊，接着压缩至高压钢瓶，然后经在线干燥器除水后送入氦液化系统进行液化。高压氦气压缩机配套有滤油、干燥、除尘、过滤装置。